- абразивная суспензия
- abrasive slurry
Русско-английский политехнический словарь. Академик.ру. 2011.
Русско-английский политехнический словарь. Академик.ру. 2011.
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия